บนสายการผลิตที่ใช้ฟอโตเรซิสต์นั้น หากการจุดไฟโดยใช้แสงอัลตราไวโอเลตล้มเหลว ก็ไม่ใช่เพียงแค่การหยุดทำงานชั่วคราวเท่านั้น แต่ยังหมายถึงการต้องทิ้งวัสดุที่ผลิตออกมา ต้องทำการผลิตใหม่ และผู้จัดการกระบวนการผลิตก็ต้องพยายามหาทางแก้ไขปัญหาการส่งมอบสินค้าที่ล่าช้า สาเหตุหลักมักอยู่ที่จุดที่ไม่มีใครให้ความสนใจมากพอ นั่นคือความเข้ากันได้ทางไฟฟ้าระหว่างตัวจุดไฟกับหลอดไฟ หากตัวจุดไฟไม่สามารถสร้างสัญญาณไฟที่เหมาะสมและรักษาสภาพการจุดไฟให้เสถียรได้ หลอดไฟก็จะพยายามหาพลังงานเพิ่มเติม และปริมาณพลังงานที่ส่งออกมาก็จะผิดเพี้ยนไป
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค หลอดไฟไอโอไดด์ของกาเลียมถูกออกแบบมาสำหรับการใช้งานกับฟอโตเรซิสต์โดยเฉพาะ หลอดไฟเหล่านี้จะรวมพลังงานไว้ที่ความยาวคลื่นประมาณ 365–405 นาโนเมตร ซึ่งตรงกับช่วงความยาวคลื่นที่สารฟอโตอินิไชเอเตอร์สามารถดูดซับได้ ทำให้เกิดการเชื่อมต่อระหว่างโมเลกุลของฟอโตเรซิสต์ได้อย่างสม่ำเสมอ เราจำเป็นต้องมีพลังงานที่สม่ำเสมอและไม่มีการเปลี่ยนแปลงมากนัก เพื่อให้ฟอโตเรซิสต์ได้รับพลังงานในปริมาณเท่ากันในแต่ละรอบการผลิต ค่าพลังงานสูงสุดควรจะคงที่จากหลอดไฟหนึ่งไปยังอีกหลอดไฟหนึ่ง และค่าพลังงานรวมก็ควรจะคงที่ตลอดอายุการใช้งาน หลอดไฟควรมีอายุการใช้งานที่ยาวนานและมีการเสื่อมสภาพน้อย โดยค่าพลังงานควรอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ตลอดหลายพันชั่วโมง ตัวจุดไฟต้องมีความเข้ากันได้กับลักษณะการจุดไฟและค่าอิมพีแดนซ์ทางไฟฟ้าของหลอดไฟด้วย มิฉะนั้น หลอดไฟอาจจะมีปัญหาในการจุดไฟ และความสม่ำเสมอของปริมาณพลังงานที่ส่งออกมาก็จะลดลง
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลในสายการผลิต เมื่อตัวจุดไฟและหลอดไฟมีความเข้ากันได้ ปัญหาการจุดไฟก็จะลดลง และความสม่ำเสมอของการส่งพลังงานก็จะดีขึ้น ทำให้ได้ขนาดที่แม่นยำมากขึ้น มีรูเล็กๆ น้อยลง และไม่จำเป็นต้องทำการผลิตซ้ำบ่อยนัก การใช้พลังงานก็จะลดลง เพราะหลอดไฟสามารถสร้างพลังงานที่สม่ำเสมอได้อย่างรวดเร็ว การเปลี่ยนหลอดไฟก็น้อยลง ทำให้ไม่ต้องมีการบำรุงรักษามากนัก และลดความเสี่ยงในการเกิดความเสียหายกับอุปกรณ์ต่างๆ ผลลัพธ์ที่ได้คืออัตราการผลิตที่สม่ำเสมอ คุณภาพผลิตภัณฑ์ที่ดี และการหยุดทำงานน้อยลง
สิ่งที่ควรระวัง ต้องให้ตัวจุดไฟมีความเข้ากันได้กับกำลังไฟ แรงดันไฟ และกระแสไฟของหลอดไฟ ต้องตรวจสอบความเข้ากันได้ของขั้วต่อ ความยาวของสายไฟ และการต่อสายดินด้วย ต้องรักษาให้กระจกสะท้อนแสงสะอาดและอยู่ในตำแหน่งที่ถูกต้อง เพราะหากกระจกสะท้อนแสงมีสิ่งสกปรก ก็จะทำให้พลังงานกระจัดกระจายไป และทำให้ปริมาณพลังงานที่ส่งออกมาลดลง ควรวัดค่าพลังงานด้วยเครื่องวัดที่มีความแม่นยำ ที่พื้นผิวของฟอโตเรซิสต์ ไม่ใช่ที่หลอดไฟ นอกจากนี้ ยังต้องมีการจัดการความร้อนและหลีกเลี่ยงการใช้งานในสภาพที่มีโอโซนด้วย และต้องให้ค่าความยาวคลื่นของหลอดไฟสอดคล้องกับสารเคมีของฟอโตเรซิสต์ด้วย แม้ว่าจะมีความไม่สอดคล้องเพียงเล็กน้อย ก็อาจทำให้เวลาการส่งพลังงานและค่าความแม่นยำเปลี่ยนแปลงได้